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化合物半导体专区 |
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以GaAs、GaN、SiC 等为代表的化合物半导体材料因其独特的材料特性，被用于光电、射频、电力电子等半导体器件制造，在5G通信、显示、新能源、电气化交通等新兴领域发挥着越来越重要的作用，中国是全球最大的化合物半导体制造基地及应用市场， 化合物半导体是中国半导体行业的未来重要发展方向之一。
本专区集中展示化合物半导体制程关键技术，包含蓝宝石、SiC、GaN 、MO源等核心材料，MOCVD、PECVD、刻蚀、离子注入及退火等关键装备。