Albert Qiu 邱晓伟
Engineering Head, Applied Materials, Inc Automation Products
工程主管, 应用材料公司, 自动化产品部

个人简介 / Biography

邱晓伟在复杂制造环境下致力于构建智能工厂解决方案 (CIM Solution) 已有10多年的历史。他使用先进过程控制 (APC) 技术的丰富经验可以帮助客户提高过程的稳定性和减少系统故障或漂移。

摘要 / Abstract

Run-to-Run (R2R) 控制器主要局限性包括量测采样率低，配方参数自动调整延迟，以及昂贵的实验设计和数据采集（DoE）。为了解决这些局限性并更接近零缺陷制造（ZDM）范例，本研究提出了三种不同的预测算法，包括多物理场模型，偏最小二乘法（PLS）和神经网络。这三种不同的预测算法基于三种不同用例。研究结果显示我们的方法具有更好的良率，更优的电子参数性能以及工艺能力。