Dr. Su Wang 王溯
Deputy General Manager&Chief engineer, Shanghai Sinyang
常务副总经理、总工程师,上海新阳半导体材料

个人简介 / Biography

王溯,男,博士,现任上海新阳半导体材料股份有限公司常务副总经理、总工程师。目前担任“集成电路材料产业技术创新战略联盟副理事长”,“中国半导体行业协会支撑业分会理事”等职务,着力积极推动中国本土半导体材料的应用与推广。

在企业担任研发项目负责人,主要从事集成电路大马士革、硅通孔、凸点工艺等多项芯片铜互连电镀、清洗技术的研究。在晶圆刻蚀后清洗工艺上的研究使我国清洗液及应用技术可以满足12英寸14nm集成电路生产线的应用要求,相应清洗液已大量产业化应用,并成为国内主流Fab的Baseline(基准)。

在企业担任研发项目负责人,带领上海新阳技术中心研发团队,成功开发和优化了芯片铜互联电镀技术及芯片清洗技术,这两项技术已达到世界先进技术水平。先后2次参与、组织上海新阳承担科技部02科技重大专项任务(集成电路制造关键工艺材料和配套设备)的研发任务,包括《65-45nm芯片铜互联超高纯电镀液和添加剂研发和产业化项目》和《20-14nm芯片铜互联超高纯电镀液和添加剂项目》。

至今在国际知名刊物和国际会议上发表2篇论文,共申请发明专利52项,实用新型专利2项。其中发明(国内44个,国外8个)。曾多次应邀在国际会议上作专题报吿。2020年被认定为上海市松江区“松江工匠”称号。


摘要 / Abstract

蚀刻后清洗是集成电路制造工艺中极为重要的环节,随着半导体元件的高度集成化和芯片尺寸的缩小化,先进制程采用了新结构、引入新材料。对清洗液的纯度、介电材料的兼容性、残留物的清洗性、水洗性的要求也更为苛刻。本文从蚀刻后清洗液纯度、材料兼容性、清洗能力、水洗性等几方面,讲述其对先进制程材料和工艺的影响。 关键词:集成电路、新结构、新材料、蚀刻、清洗液