Yuan Lu 陆原
Technical Marketing Manager, Evatec China Ltd.
意发薄膜科技（上海）有限公司，技术市场经理

个人简介 / Biography

陆原博士是Evatec技术市场经理。他在负责半导体事业部的市场战略以及技术研发。陆博士之前在德国加入弗劳恩霍夫应用物理研究所，和Evatec一起研究下一代射频滤波器的压电材料， 在磁控溅射和材料物理方面有着丰富的经验。在Evatec作为市场经理，他参与了许多量产优化以及确定技术路线的项目，这些专长使得Evatec提供给客户最佳的技术know-how以及量产解决方案。


摘要 / Abstract

由第三代半导体制造的器件有着耐高压、耐高温、大功率、抗辐射、导电性能强、工作速度快、工作损耗低等优点，而第三代以GaN氮化镓，SiC碳化硅，ZnO氧化锌，金刚石为代表，这些隶属于宽禁带半导体（WBG Wide Band Gap）。Evatec作为历史悠久的瑞士半导体薄膜量产设备制造商，拥有在宽禁带半导体的强势技术积累和工业界合作的经验以及Know-how。在此次SemiCon的新技术发布会期间，隆重向大家介绍面对SiC碳化硅器件，包括功率器件和无线通讯器件的半导体薄膜解决方案，助力我国的半导体事业的成长和腾飞并一起塑造未来。