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Feng Wang 汪锋 China Vice President, BISTel, Inc. 中国区副总裁, 深圳市比思特软件有限公司 |
个人简介 / Biography 现任BISTel 公司中国区副总裁,计算机科学工程硕士,从业半导体及FPD行业生产制造CIM系统15年以上,对整个CIM 的MES,YMS,EES等系统方面具有丰富的新厂建设经验及系统构筑经验,具有15年以上半导体厂制造CIM系统产品研发及项目管理实施经验,了解半导体工厂智能制造诉求,并提供专业的顾问服务! 摘要 / Abstract 目前先进的半导体Wafer制造公司,都实现了生产的自动化控制,无人工厂已经是先进半导体厂的标配,随着半导体制造工艺的越来越精细,业务的需求也越来越复杂,传统的CIM系统无法满足业务的增长需求,这样我们利用Trace Data如何满足业务的快速增长需求,利用现在最新的bigdata,AI 算法, 知识库 等IT 技术,如何帮助半导体工厂快速的良率提升,减轻工程师的负担,实现工程自动化! 我们从4个方面来实现,首先是基于大数据的智能分析,传统的YMS/DMS智能满足日常的不良分析,无法满足客户的高级分析,特别是无法分析FDC Trace Raw data! 所以我们通过基于大数据的One-Click Drill Down Analysis,实现一键式联动分析,直接分析到设备Trace Raw data,实现快速的不良根因分析,甚至通过自动化的分析,让日常的高阶分析实现自动化,从而减轻了工程师的负担,其次,通过基于大数据的智能监控,传统监控系统FDC 更依赖于工程师的经验来建立监控模型,而通过DFD(Dynamic Fault Detection)基于AI算法,无需事先建立监控模型,也能对整个Trace 数据区间及所有的Parameter进行监控。同时也可以通过基于大数据的技术,实现对Chamber 一致性管理分析及监控. 第三是智能预测,通过利用Trace data 的变化,实现对设备健康度实时监控及评分,实现对设备生命周期的预测!第四是智能决策,这个部分由于每个部门所关心的部分都是不一样,所以根据不同场景,进行相应的开发。例如Process Engineer 关心设备FDC的Alarm,通过DSS(Decision Support System)来给用户给出对FDC Alarm见解,让用户更容易做出准确的判断! BISTel 公司从2009年开始就针对智能分析,智能监控,智能预测,以及智能决策这几个方面的都能够提供相应的解决方案和Consluting,帮助半导体FAB实现Engineer Automation,从而实现整个制造的智能化! |