Krishna Sreerambhatla
Vice President, Head of SiC Epitaxy business, ASM
ASM副总裁，SiC外延业务负责人

讲师简介 / Speaker Bio

Krishna Sreerambhatla是ASM副总裁兼SiC外延业务负责人，作为一位经验丰富的领导者，他在半导体领域拥有深厚的行业背景。Krishna 在ASM领导碳化硅领域的创新和增长策略、产品开发、市场拓展和客户沟通。

Krishna 在2020年加入ASM担任副总裁兼并购负责人，在此期间，他为成功收购 LPE制定了战略框架，为ASM业务的持续增长奠定了基础。他在2022年被任命为ASM副总裁兼SiC外延业务负责人。

ASM的总部位于荷兰，致力于设计和制造用于晶圆加工的半导体设备，并提供相关工艺解决方案。在加入 ASM 之前，Krishna 曾在应用材料、ASML 和恩智浦等知名企业担任高级领导职务。

此外，Krishna 还积极参与风险投资和创业生态，专注于早期的深度技术投资。

Krishna拥有伊拉斯姆斯大学鹿特丹管理学院MBA学位和印度理工学院德里分校的电气工程学士学位。

摘要 / Abstract

碳化硅外延工艺是制造碳化硅设备的关键制造步骤之一，对设备的性能和产量有着重要影响。ASM 的碳化硅外延系统采用单晶圆水平横流反应腔结构，具有优秀的晶圆上外延性能、占位密度和易维护性，并在生产能力上表现优异。

我们正在经历碳化硅行业从 6 英寸晶圆到 8 英寸晶圆的升级。8 英寸基片的面积更大、成本更高，这进一步增加了实现高均匀性和低缺陷率外延的需求。ASM的机台拥有特殊的反应腔结构，能够帮助客户最大限度地利用晶圆扩大的面积，提高单位面积的可用晶粒数量，降低单位晶粒成本。

50 多年来，ASM 始终走在创新的前沿。在本次演讲中，我们将与您分享ASM如何应对市场挑战，满足市场对更高能效和更大功率密度的需求，与我们的客户一同推动电动汽车的发展。