塚田 勉
日本康肯技术有限公司，技术部 部长

个人简介

在1972年東京大学工学部工业化学科毕业后，进入同工学系大学院专攻工业化学，于1974年修士课程毕业。

同年３月就职于Nichden Valian 公司（现改名为CANON ANELVA CORPORATION）从事Spatter设备与Dry Etching设备 的开发研究。

1978年开始着手Plasma source的开发研究，随后发表了「Effects of equipment structures and etching parameters on reactive ion etching」论文，在1993年被東京大学授予工学博士称号。CANON ANELVA CORPORATION任职期间年曾被庆应义應塾大学（Keio Gijyuku University）邀请担任工学部访问教授。

2004年进入FOI 公司，从事IPC　Etching设备开发研究。三年后来到Kanken Techno公司，针对ＬＥＤ制造业的ＭＯＣＶＤ，太阳能电池制造业ＰＥＣＶＤ等工艺设备所排放的有害气体进行无害化的废气处理设备的开发研究至今。