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Karl Urquhart 厦门积光合作伙伴--美国DFS, 研发技术总监 | 化学品技术经理 |
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个人简介 主要职责：负责DFS研发计划及管理，并与市场销售团队紧密合作，根据客户需求开发产品。 Karl Urquhart在先进电子材料、化学工艺及半导体行业拥有30多年创新工艺设计经验，尤其在半导体生产设施方面，包括设备设计、工艺开发和优化、数据分析等。作为DFS技术总监，Karl承接并完成了各种应用领域的全新项目，包括OEM工具、化学品混合、化学品提纯及合成应用，其影响力及技术贡献遍布全球。 作为一个问题处理专家，Karl获得过多项奖励并发布了多个专利。 1986年至1996年，Karl作为先进电子武器系统技术专家服役于美国海军，负责的项目包括鱼叉导弹、SLAM导弹、“战斧式”巡航导弹等，并服务于一些重要的军事需求，如新泽西号战列舰。 摘要 在现代工业中，化学品的均一性和质量在减少缺陷和整体供应链成本方面起着非常重要的作用。近几年量测技术有了重大进步，应用于不同的领域中，其基本原理也大有不同，但没有一种量测是可以适用于所有化学品的。制程的表征和量测装置的选择对溶液在混配和输送过程中的品质和均一性起的作用越来越大。这些表征的实际应用，使得利用简单装置或将装置整合、从而得到最佳控制和监控结果成为可能。 折射率测试是一种连续地，不消耗的光学量测，它可以帮助工厂来实时监测研磨液的组份，同时也减少了消耗过程原料的风险。一旦校验过以后，折射率测试可以在已知的相关浓度范围内确定最终研磨液中H2O2的浓度。另外，它不像单一的电阻率测试，折射率还可以监测研磨液的密度——一种用来检测研磨液随时间变化是否有沉淀或降解的指标。 折射率测试不仅可以检验最终产品的质量，而且也可以用来监测不同批次研磨液来料的参数变化并且决定混配的步骤。在其它的量测装置加进来后，我们就能看到完整的制程控制并将其用于过程实时控制。 用于完成过程实时监测的表征和工具，需要与工厂的动态化学环境保持一致。MCBS （流体化学混合及输送系统）可以有效支持这些表征及原料配方供应，利用研发投入、新供应商资质，工具优化、制程建立及其他不同程度的支持等。 MCBS 系统给企业带来了技术灵活性，从而可以让使用者在面对他们制程动态变化的过程中立于不败之地。使用MCBS的工艺平台，可以让使用者开发更优化的配方，并控制化学品配方中的任意一个组份的参数。 这为在线实时优化提供了自由度，并将专有的工艺秘密作为内部知识产权来保护，在提供内部开发优势的同时，赋予使用者化学品独立性的能力。 |
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