爱发科集团全球市场和技术战略总经理

职历：

1993年以来，一直引领和从事爱发科集团的半导体及电子技术开发，包括新兴的非易失性存储器、高k电容器、LED、功率器件、薄膜锂电池以及3D封装制造技术。2008年至2014年任公司半导体与电子技术研究所总经理。现任公司全球市场与技术战略部高级研究员、总经理。

专业：

  •  用于大容量电容器的高介电常数薄膜技术开发，用于下一代DRAM的批量生产。
  •  大规模生产FeRAM的技术开发（通过溅射、MOCVD、等离子刻蚀、灰化等）。
  •  大规模生产ReRAM的技术开发。
  •  大规模生产PCRAM的技术开发（通过溅射和MOCVD等）。
  •  薄膜锂离子电池的研究开发。
  •  用于传感器批量生产的铁电MEMS技术开发。
  •  LED 批量生产的技术开发。

演讲摘要：

Thin-film Processing Technologies for Smart Society

Key technologies enabling "Smart Society", such as IoT, AI, 5G will require new computing technology, MEMS/sensor technolory and energy technology (battery, power device). We have been continuously developing manufacturing solutions for all these technologies. In this time, we would like to talk about thin-film processing solution development topicss in ULVAC's strategy including the trend on "Smart Society" related technologies such as Non-Volatile Memory (PCRM,ReRAM) MEMS / sensor and Lithium Thin film Battery.