张健欣
光力科技股份有限公司，董事兼副总经理

个人简介

1959年12月出生，毕业于清华大学，半导体物理与器件专业，现任光力科技董事兼副总经理。曾在中科院半导体所、微电子所等研究机构工作12年，并在日本DISCO公司日本总部、中国总部等半导体装备产业界工作12年，具有深厚的行业背景。

摘要

光力科技旗下的Loadpoint公司研制的半导体晶圆和陶瓷等电子元器件材料的双轴12”晶圆切割划片设备。采用低振动气浮主轴、微米量级高精度切割、追随式键盘、多点触控等最新设计，具有自动对准拉直、自动切痕检查、状态自我调整、信息记录和分析等功能，高效编辑和设定工艺参数、切割过程中随时监控设备运行状态，实现设备效率和人员绩效的准确分析。