王永成
上海致领半导体科技发展有限公司，总经理

讲师简介 / Speaker Bio

上海致领半导体科技发展有限公司创始人，从事半导体装备领域工作二十多年，曾就职于Speedfam和Peter Wolters等世界知名半导体装备企业，从事半导体行业超精密平面加工设备的设计工作。2011年创立上海致领半导体科技发展有限公司，自主研发并拥有各项发明专利约一百项，带领公司获得国家级高新技术技术企业，专精特新企业，创新型和科技型等多项企业荣誉。

摘要 / Abstract

1，现有碳化硅晶片的抛光工艺及其产生的背景
2，现有碳化硅晶片抛光工艺优缺点比较
3，碳化硅晶片抛光工艺的发展方向的预测24年的经验。