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March 20-22, 2019
Shanghai New International Expo Centre

Sam Sun

Sam Sun
潍坊星泰克微电子材料有限公司,董事长

Biography

孙逊运(Sam Sun),男,1956年3月生,1993年毕业于加拿大戴尔豪斯大学化学专业,获得博士学位。现获得了山东省“泰山学者海外特聘专家”、“潍坊市高层次创新创业人才引进扶持计划人选”等荣誉称号。

孙逊运在国外有着多年的工作经历,先后就职于美国密苏里大学、布鲁尔科技公司等单位,掌握了多项电子行业高端产品核心技术。经过多年努力,独立开发了高硅光刻胶技术的新概念和配方,获得了中国、美国、日本共4项发明专利授权,并获得了潍坊市技术发明奖二等奖。该技术不仅使胶的含硅量达到40%,大大提高了抗刻蚀性能,还可使光刻胶实现正负双相曝光,分辨率提高一倍,突破了业界延用30多年的光刻胶概念,是目前高端集成电路制造工艺中传统的光刻胶的换代产品,并将大幅度降低成本和技术复杂度。

孙逊运博士于2010年9月回国在潍坊高新区生物医药科技产业园内创办了潍坊星泰克微电子材料有限公司,专业从事高性能光刻胶及配套试剂的研发、销售和生产,产品广泛应用于IC、TP、LED、LCD、分立器件等相关电子行业。公司是潍坊市定点光刻胶工程技术研发中心,并于2014年评为高新技术企业。孙博士还培养了一批国内顶尖的光刻胶研发人才,在新材料行业储备了后续力量,为我国半导体材料行业做出突出的贡献。

Abstract

高硅光刻胶是潍坊星泰克公司研发的专利产品,含硅量达到40%以上,属于光刻胶新品种。如果使用高硅光刻胶,接触式曝光可以达到i线stepper曝光的效果。

环化橡胶光刻胶可以耐住氢氟酸腐蚀,这类光刻胶是深腐蚀硅工艺(比如GPP工艺)中的唯一选择。潍坊星泰克公司研发的新型WS系列光刻胶,可以完全取代环化橡胶光刻胶。WS系列光刻胶不仅各项性能指标超越环化橡胶,而且无毒环保。