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March 14-16,2018
Shanghai New International Expo Centre

Yilin Shen

Yilin Shen
VP, 上海至纯洁净系统科技股份有限公司

Biography

沈一林,男,1980年生,华东理工资源与环境学士
上海交通大学 能源与动力硕士
长期工作与在半导体微电子行业的高纯厂务系统特别是电子气体应用研究和实践

2002月至2005年4月就职于上海至纯洁净系统有限公司,负责微电子气体应用项目
2005年5月至2012年8月就职于液化空气(中国)投资有限公司,负责半导体电子气体应用项目
2012年8月至今就职于上海至纯洁净系统科技股份有限公司,负责半导体电子气体应用项目

参与编撰了:
SJ/T 11670-2017 工业生产综合监控系统工程设计规范
SJ/T 11672-2017 电子工业生产设备二次配管配线技术规范


主要参与项目有:
无锡SK海力士半导体
上海华力半导体
北京中芯
南京中电熊猫
成都京东方
成都天马微
武汉天马微