卡兹•维基博士
得力有限公司，副总裁

个人简介

卡兹博士在美国得力公司从事与电镀相关的方方面面的工作已经超过25年，特别擅长和专注于电镀溶液的分析和控制。作为实时在线分析仪器业务部门的副总裁，他领导一个由科学家、工程师和程序员组成的独立团队，开发和实现化学计量学的创新和独特方法。卡兹在业界评议的期刊上发表了30多篇论文，多次在科学会议上发表演讲并拥有9项美国专利。

摘要

电化学沉积法已经是当今半导体制造中常用的方法，比如大马士革镀铜、电镀钴等等应用。半导体制造对这类工艺的可靠性和深入的过程控制的需求不断增长，将计量学的期望推向了一个全新的方向。

本次演讲的重点是定义和讨论如果通过新的创新性的技术和方法来实现这些具有挑战性的期望。